石英玻璃是一種只含二氧化硅單一成份的特種玻璃。由于種類、工藝、原料的不同,國(guó)外常常叫做硅酸玻璃、石英玻璃、熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英,以及沒(méi)有明確概念的透明、半透明、不透明石英等。我國(guó)統(tǒng)稱石英玻璃,多按工藝方法、用途及外觀來(lái)分類,如電熔透明石英玻璃、連熔石英玻璃、氣煉透明石英玻璃、合成石英玻璃、不透明石英玻璃、光學(xué)石英玻璃、半導(dǎo)體用石英玻璃、電光源用石英玻璃等。人們習(xí)慣于用“石英”這樣一個(gè)簡(jiǎn)單的詞匯來(lái)命名這種材料,這是絕對(duì)不妥的,因?yàn)椤笆ⅰ笔嵌趸杞Y(jié)晶態(tài)的一種通稱,它與玻璃態(tài)二氧化硅在理化性質(zhì)上是有區(qū)別的。
英玻璃的形成是由于其熔體高溫黏度很高引起的結(jié)果。用于制作半導(dǎo)體、電光源器、半導(dǎo)通信裝置、激光器,光學(xué)儀器,實(shí)驗(yàn)室儀器、電學(xué)設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備和耐高溫耐腐蝕的化學(xué)儀器、化工、電子、冶金、建材以及國(guó)防等工業(yè),應(yīng)用十分廣泛。
高純石英玻璃可制光導(dǎo)纖維。
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,石英玻璃被廣泛的用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的各項(xiàng)工序中。比如,直拉法把多晶轉(zhuǎn)化成單晶硅;清洗時(shí)用的清洗槽;擴(kuò)散時(shí)用的擴(kuò)散管、刻槽舟;離子注入時(shí)用的鐘罩等等。
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