相關(guān)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：

半導(dǎo)體用透明石英玻璃棒  JC/T 2064-2011

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體用透明石英玻璃棒(以下簡稱石英玻璃棒)的術(shù)語和定義、分類和標(biāo)記、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)中使用的透明石英玻璃棒。冶金、化學(xué)工業(yè)用透明石英玻璃棒也可參照本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。

石英玻璃棒一般用于制作半導(dǎo)體和光伏行業(yè)中分批式工藝所需的部件；如石英舟、硅片載體及基座等。 氣泡含量低、純度高和嚴(yán)苛的尺寸公差是這些熔融石英棒的重要特性。

熔融石英棒可以滿足分批式燒制爐部件對尺寸和外觀的嚴(yán)苛要求。