石英玻璃管是用二氧化硅制造的特種工業(yè)技術(shù)玻璃,是一種非常優(yōu)良的基礎(chǔ)材料,其具有一系列優(yōu)良的物理、化學(xué)性能。
石英玻璃管的種類大致可分為以下幾種:透明石英玻璃管(外徑1.5mm~300mm)、濾紫外石英玻璃管、彩色石英玻璃管以及其他各種螺旋、U型等異型石英玻璃管。
閉管擴(kuò)散要用石英玻璃管,這是由于石英管能耐1250℃左右的高溫,而且在1800℃以上時會變得很柔軟且很粘,能做成所需要的形狀。另一方面,由于石英玻璃管采用的原料是特級水晶石,純度高,含有害的雜質(zhì)很少,對于擴(kuò)散、配制合金等能保證質(zhì)量,因此閉管擴(kuò)散常采用石英玻璃管。
根據(jù)擴(kuò)散硅片直徑的不同,來選擇石英玻璃管的內(nèi)徑、壁厚等參數(shù),以及公差,脫羥等要求。
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