碳化硅(SiC)又叫金剛砂,密度是3.2g/cm3,天然碳化硅非常罕見,主要通過人工合成。按晶體結(jié)構(gòu)的不同分類,碳化硅可分為兩大類:αSiC和βSiC。
以碳化硅(SiC)為代表的第三代半導(dǎo)體具備高頻、高效、高功率、耐高壓、耐高溫、抗輻射能力強(qiáng)等優(yōu)越性能,切合節(jié)能減排、智能制造、信息安全等國(guó)家重大戰(zhàn)略需求,是支撐新一代移動(dòng)通信、新能源汽車、高速軌道列車、能源互聯(lián)網(wǎng)等產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新發(fā)展和轉(zhuǎn)型升級(jí)的重點(diǎn)核心材料和電子元器件,已成為全球半導(dǎo)體技術(shù)和產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)焦點(diǎn)。
2020年全球經(jīng)濟(jì)貿(mào)易格局處于重塑期,中國(guó)經(jīng)濟(jì)內(nèi)外部環(huán)境更加復(fù)雜嚴(yán)峻,但是全球第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逆勢(shì)增長(zhǎng)。需要認(rèn)識(shí)到,碳化硅產(chǎn)業(yè)進(jìn)入了一個(gè)新的發(fā)展階段。
碳化硅在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用
碳化硅半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈主要包括碳化硅高純粉料、單晶襯底、外延片、功率器件、模塊封裝和終端應(yīng)用等環(huán)節(jié)。
1.單晶襯底
單晶襯底是半導(dǎo)體的支撐材料、導(dǎo)電材料和外延生長(zhǎng)基片。目前,SiC單晶生長(zhǎng)方法有物理氣相傳輸法(PVT法)、液相法(LPE法)、高溫化學(xué)氣相沉積法(HTCVD法)等。
2.外延片
碳化硅外延片,是指在碳化硅襯底上生長(zhǎng)了一層有一定要求的、與襯底晶向相同的單晶薄膜(外延層)的碳化硅片。實(shí)際應(yīng)用中,寬禁帶半導(dǎo)體器件幾乎都做在外延層上,碳化硅晶片本身只作為襯底,包括GaN外延層的襯底。
3.高純碳化硅粉料
碳化硅高純粉料是采用PVT法生長(zhǎng)碳化硅單晶的原料,其產(chǎn)品純度直接影響碳化硅單晶的生長(zhǎng)質(zhì)量以及電學(xué)性能。
4.功率器件
采用碳化硅材料制造的寬禁帶功率器件,具有耐高溫、高頻、高效的特性。按照器件工作形式,SiC功率器件主要包括功率二極管和功率開關(guān)管。
5.終端應(yīng)用
在第三代半導(dǎo)體應(yīng)用中,碳化硅半導(dǎo)體的優(yōu)勢(shì)在于可與氮化鎵半導(dǎo)體互補(bǔ),由于SiC器件高轉(zhuǎn)換效率、低發(fā)熱特性和輕量化等優(yōu)勢(shì),下游行業(yè)需求持續(xù)增加,有取代SiO2器件的趨勢(shì)。
碳化硅市場(chǎng)發(fā)展現(xiàn)狀
半導(dǎo)體市場(chǎng)持續(xù)發(fā)力,碳化硅引領(lǐng)第三代半導(dǎo)體發(fā)展
市場(chǎng)應(yīng)用方面,第三代半導(dǎo)體產(chǎn)品滲透速度加快,應(yīng)用領(lǐng)域不斷擴(kuò)張,汽車電子、5G通信、快充電源及軍事應(yīng)用等幾大動(dòng)力帶領(lǐng)市場(chǎng)快速增長(zhǎng)。
2019年,SiC襯底、外延質(zhì)量繼續(xù)提升,尺寸不斷擴(kuò)大,缺陷密度持續(xù)降低,性價(jià)比進(jìn)一步獲得下游認(rèn)可。SiC襯底及同質(zhì)外延方面,高品質(zhì)6英寸材料商業(yè)化已經(jīng)普及??其J全面轉(zhuǎn)向6英寸SiC產(chǎn)品,首批8英寸SiC襯底制樣完成,預(yù)計(jì)2022年實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。
Mouser數(shù)據(jù)顯示,2019年各廠家在售的各類SiC、GaN產(chǎn)品(含功率電子和微波射頻,不含LED)已經(jīng)接近1300款,較2017年增加了6成,僅2019年就新增了321款新品。
導(dǎo)通型碳化硅單晶襯底材料是制造碳化硅功率半導(dǎo)體器件的基材。根據(jù)Yolo公司統(tǒng)計(jì),2017年4英寸碳化硅晶圓市場(chǎng)接近10萬(wàn)片;6英寸碳化硅晶圓供貨約1.5萬(wàn)片;預(yù)計(jì)到2020年,4英寸碳化硅晶圓的市場(chǎng)需求保持在10萬(wàn)片左右,單價(jià)將降低25%,6英寸碳化硅晶圓的市場(chǎng)需求將超過8萬(wàn)片。
汽車電子+5G提速,打開市場(chǎng)增長(zhǎng)空間
2019年SiC電力電子器件市場(chǎng)規(guī)模約為5.07億美元,其主要驅(qū)動(dòng)力為新能源汽車。而據(jù)中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院數(shù)據(jù),全球功率半導(dǎo)體分立器件的銷售額約為230.91億美元,綜合Yole的數(shù)據(jù),SiC、GaN電力電子器件的滲透率約為2.5%。整體來看,第三代半導(dǎo)體盡管進(jìn)展較快,但仍然處于較早期的產(chǎn)品導(dǎo)入階段。
全球汽車功率半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模穩(wěn)步增長(zhǎng)。根據(jù)中商產(chǎn)業(yè)研究院、英飛凌數(shù)據(jù),預(yù)計(jì)汽車半導(dǎo)體市場(chǎng)2020年將達(dá)到70億美元,復(fù)合增長(zhǎng)率6.47%。電動(dòng)車市場(chǎng)將是SiC器件成長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力,包括汽車本身的功率半導(dǎo)體部分以及相關(guān)的充電基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)中的功率半導(dǎo)體部分。
2019年,以SiC為代表的第三代半導(dǎo)體電力電子器件在電動(dòng)汽車領(lǐng)域的應(yīng)用取得較快進(jìn)展。國(guó)際上有超過20家汽車廠商在車載充電機(jī)(OBC)中使用SiC器件,特斯拉Model3的逆變器采用了意法半導(dǎo)體生產(chǎn)的全SiC功率模塊,各汽車制造都計(jì)劃于未來幾年在主逆變器中應(yīng)用SiC電力電子器件。
寫在最后
市場(chǎng)追逐碳化硅,主要是看好它們?cè)趲?、擊穿?chǎng)強(qiáng)、熱導(dǎo)率和電子漂移速度等幾個(gè)方面的特性。據(jù)IHS的數(shù)據(jù)預(yù)估,今年的SiC(碳化硅)市場(chǎng)總額將會(huì)達(dá)到5000萬(wàn)美元,到2028年將飆升到1億6000萬(wàn)。其中在電動(dòng)汽車充電市場(chǎng),SiC在未來幾年的符合增長(zhǎng)率高達(dá)59%;在光伏和儲(chǔ)能市場(chǎng),SiC的年復(fù)合增長(zhǎng)率也有26%;而在電源部分,這個(gè)數(shù)字也有16%。整體年復(fù)合增長(zhǎng)率也高達(dá)16%。
展望2020年,受新型冠狀病毒肺炎疫情和政經(jīng)風(fēng)險(xiǎn)交織等因素影響,全球經(jīng)濟(jì)預(yù)計(jì)繼續(xù)下滑。中國(guó)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在高速發(fā)展中需要關(guān)注錯(cuò)位發(fā)展、質(zhì)量提升、市場(chǎng)波動(dòng)和資本較熱的問題。
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